1｜Discusión sobre la alúmina y sus aplicaciones Las cerámicas de alúmina, debido a su aislamiento, resistencia a altas-temperaturas, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y alta estabilidad química, se utilizan ampliamente en campos como semiconductores, nuevas energías y electrónica de alta-. En particular, las cerámicas de alúmina pueden adaptarse bien a entornos extremos como el vacío y las altas temperaturas, lo que las hace adecuadas como materia prima para componentes de procesos en equipos semiconductores. Tener materiales excelentes por sí solo está lejos de ser suficiente; Estos materiales también requieren excelentes técnicas de procesamiento en equipos o procesos-de alta gama para aprovechar plenamente sus propiedades y lograr mayores avances en la fabricación de precisión. Por ejemplo, las boquillas de gas utilizadas en equipos semiconductores necesitan una fuerte resistencia a la corrosión, que generalmente se logra con materiales cerámicos de alúmina. Para permitir que la boquilla logre un rendimiento de control óptimo, se requiere una tecnología precisa de procesamiento de micro-agujeros para crear una buena estructura de micro-agujeros, que permita un control preciso de la velocidad y el volumen del flujo de gas/fluido. Por tanto, la relación entre la alúmina y las buenas técnicas de procesamiento se refuerza mutuamente.
2 ｜ Discutir el procesamiento de microporos de alúmina El procesamiento cerámico siempre ha sido un desafío. En primer lugar, es un material duro y quebradizo; El uso de métodos de perforación mecánicos tradicionales provoca fácilmente micro-fisuras y astillas, lo que dificulta garantizar el rendimiento. En segundo lugar, es un material aislante y no-conductor, por lo que no se puede utilizar mecanizado por descarga eléctrica de alta-precisión. Antes de la llegada de los láseres de femtosegundo, lograr un procesamiento de alta-precisión y alta-calidad de microporos cerámicos de alúmina era una tarea difícil. Dicho esto, ¿cómo se pueden evaluar la alta precisión y la alta calidad? En otras palabras, ¿cómo evaluamos si los indicadores del procesamiento de microporos son buenos o malos? Creo que hay dos aspectos: el tamaño de los microporos y la morfología de los microporos.
1. El tamaño del microporo incluye: diámetro del orificio y su precisión, redondez, conicidad, etc. Estos tres indicadores reflejan principalmente el tamaño tridimensional del microporo, mientras que la precisión representa la desviación entre el valor ideal y el valor real que se puede lograr mediante la tecnología de procesamiento.
2. La morfología de los microporos incluye: morfología de la superficie y morfología de las paredes laterales. Estos dos indicadores examinan principalmente si la entrada del orificio y la pared interior tienen una capa re-refundida, desconchones, salpicaduras, grietas o superficie lisa. Estos indicadores afectan la penetración de haces de luz, gases y líquidos y también afectan la confiabilidad y vida útil del producto.
3｜Discusión sobre el procesamiento de alúmina con láser de femtosegundos El láser de femtosegundos, como tecnología de procesamiento de microagujeros de vanguardia-, muestra ventajas significativas en el procesamiento de alúmina. Con su ancho de pulso ultra-corto y su potencia máxima extremadamente alta, puede extirpar cualquier material sólido sin pasar por un estado fundido. Junto con su grabado fino en escala micrométrica-, los microagujeros son muy precisos y tienen una redondez excelente. Además, el procesamiento en frío de los láseres de femtosegundo evita la formación de capas refundidas, microfisuras en la superficie o las paredes internas de la alúmina y no provoca que el material se vuelva amarillento o ennegrecido. En otras palabras, independientemente del método de procesamiento o de la proporción de composición de las cerámicas de alúmina, los láseres de femtosegundos pueden lograr un procesamiento de microagujeros de ultra-alta precisión y alta-calidad. Actualmente, los láseres de femtosegundo pueden lograr el procesamiento de microagujeros con un diámetro mínimo de 0,02 mm (espesor de 0,2 mm) y una precisión de ±1 μm. ¿Conoce otras tecnologías que puedan lograr dicho procesamiento de microagujeros?
