Como todos sabemos, solo hay un fabricante en el mundo que puede producir litografía EUV, es elASML de los Países Bajos.
La razón por la que solo hay un fabricante en el mundo es que ASML ha unido a muchos fabricantes clave, como Zeiss (Zeiss), una empresa de óptica alemana, Cymer (EE. UU.) yTRUMPF (Alemania).
ASML ha atado a estos fabricantes a su carro a través de inversiones, adquisiciones, participación accionaria, establecimiento de centros de investigación, etc., y estos fabricantes son probablemente los únicos fabricantes en el mundo que pueden producir estos productos, por lo que, en última instancia, solo ASML en el mundo puede producir litografía EUV.
Sin embargo, recientemente, una cadena de suministro clave de ASML, corrió a Shenzhen, China, para construir una fábrica, su subsidiaria de Shenzhen se instaló en el Parque de demostración industrial chino-alemán (Europa) de Baoan.
Este fabricante es el Grupo TRUMPF de Alemania (TRUMPF), es la litografía EUV de ASML, el único proveedor de fuentes láser del mundo.
Productos TRUMPF en la litografía EUV, ¿qué importancia tienen? Primero, escúchame explicar el principio de la litografía EUV, lo entenderás.
El principio de la litografía EUV, en pocas palabras, se centra en tres sistemas principales, el sistema de fuente de luz ultravioleta EUV, el sistema de espejo objetivo y el sistema de mesa.
El proceso específico consiste en usar un láser para excitar una longitud de onda de 13,5 nm de luz ultravioleta extrema, que luego se corrige para formar un haz de luz controlado, que luego se proyecta en una mesa de fotomáscara antes de proyectarse a través de un espejo objetivo en una mesa de exposición. y finalmente grabado en un circuito en una oblea de silicio recubierta con fotoprotector.
Cómo se obtiene uno de los sistemas de fuente de luz UV EUV bombardeando una gota de metal de estaño (Sn) con un láser de CO2 de 30 kW de potencia, evaporándolo en un plasma y finalmente obteniendo luz EUV a una longitud de onda de 13,5 nm.
Este láser de CO2 de 30 kW lo suministra TRUMPF, único en el mundo.
No subestime este láser de CO2, tiene 457 329 partes, la longitud del cable en el sistema es de hasta 7 322 metros y el peso es de 17 090 kg, que es uno de los componentes centrales más importantes en la litografía EUV.
Ahora TRUMPF corrió a China para construir una fábrica, la intención es clara, es decir, optimista sobre el mercado láser chino, y una visión aún más a largo plazo, optimista sobre el mercado de litografía chino, el futuro puede cooperar con China para construir litografía EUV .
De hecho, ya hay más de una cadena de suministro de ASML que se dirige a China para construir una fábrica, hay KMWE y otros fabricantes, también a China para construir una fábrica.
De acuerdo con la tendencia actual, podemos esperar con optimismo que no pase mucho tiempo antes de que la tecnología de litografía de China sea un gran paso adelante, e incluso el volumen de producción de litografía EUV también puede esperar, ¿cree usted?
