Recientemente, el Instituto de Microsistema de Shanghai y la Tecnología de la Información de la Academia de Ciencias de China ha desarrollado un espejo de reflejo rápido de alta rendimiento con sensores de ángulo integrado . El espejo tiene un gran tamaño, un volumen de paquete pequeño, un excelente rendimiento y un gran potencial en las comunicaciones por satélite láser {}}}
El espejo de reflexión rápida tardó casi cinco años en desarrollarse . adopta la integración heterogénea de doble capa y la tecnología de unión a nivel de oblea, y su volumen es solo el tamaño de una 1- yuan coin .}
Supera los cuellos de botella técnicos de los espejos de reflectación rápida mecánica tradicional y los MEMS originales de reflejos de reflexión rápida, creando un producto de grado espacial con una precisión puntual de μRAD, que cumplen con los indicadores de rendimiento ultra altos de las aplicaciones de los satélites .}
Inspirado en la pantalla del teléfono móvil, el equipo utilizó el principio de tensión piezoresistiva de silicio para integrar sensores de ángulo en chip, y a través de la innovación estructural, la sensibilidad aumentó en un 63%, optimizando la precisión del control del haz .
Los resultados de la prueba muestran que a una frecuencia específica, la precisión del ángulo cumple con el estándar, y la deformación de la superficie dinámica máxima es solo 2 nanómetros .
El funcionario hizo una analogía, que es equivalente a todos los altibajos en un espejo del tamaño de un campo de fútbol que no excede el diámetro de un cabello, cumple con los requisitos estrictos de las comunicaciones láser satelitales de larga distancia en la superficie del espejo .
