De acuerdo con las características del material del sustrato, la precisión de la superficie del sustrato, la rugosidad de la superficie y los tipos de contaminantes de partículas, los métodos actuales de limpieza láser se pueden dividir en las dos categorías siguientes.
1) Método de limpieza en seco con láser. El láser irradia directamente la superficie del objeto, contamina las partículas o absorbe la energía en la superficie, y luego hace que las partículas salgan de la superficie por difusión térmica, foto descomposición y gasificación.
2) Método de limpieza en húmedo con láser. Rocíe un poco de líquido no contaminado (principalmente agua, a veces alcohol) en la superficie del material a limpiar, y luego irradiarlo con láser. Después de absorber la energía láser, el medio líquido producirá vaporización explosiva y empujará las partículas de contaminación a su alrededor lejos de la superficie del material. Además, se ha propuesto el llamado método de limpieza por compuestos láser. La energía láser es absorbida por el material del sustrato, y luego el medio intermedio adsorbido se calienta por convección térmica, y el medio intermedio produce vaporización explosiva. Impulsadas por un alto flujo de aire, las partículas se separan de la superficie del sustrato junto con el medio intermedio.
